本文標題："固體表面的形貌顆粒測量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器"
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固體表面的形貌顆粒測量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器
TEM用來(lái)探測晶格缺陷的存在和相分配。最近已發(fā)展的掃
描TEM儀器能得到更寬區域的形貌，并降低高強度光束對樣品
的破壞。
如果樣品較厚，那么相互作用發(fā)生在樣品的表面，其產(chǎn)物沿著(zhù)
一定的軌跡離開(kāi)表面。在掃描電子顯微鏡中((SEM )，通常檢測的
是次級發(fā)射電子，電子束橫穿樣品表面進(jìn)行掃描。對于反射技術(shù)，
非金屬表面必須鍍上一層薄金屬膜(大約10nm )，例如噴鍍金膜，
防止樣品表面電荷富集。
電子微探針能進(jìn)行化學(xué)顯微分析以及SEM和BSE檢測，經(jīng)
常被稱(chēng)作分析電子顯微鏡(AEM)或電子探針顯微鏡(EPMA )，這
是因為入射電子束與表面作用的另外產(chǎn)物是X一射線(xiàn)光子，它的波
長(cháng)和能量取決于元素的種類(lèi)和引起發(fā)射的電子層。分析這些光子
能對表面進(jìn)行局域化學(xué)分析，分辨率可達15m。使用的x一射線(xiàn)分
光光度計有兩種類(lèi)型:
·波長(cháng)色散分光儀(WDS)，該儀器對波長(cháng)進(jìn)行掃描，波長(cháng)與
檢測到的激發(fā)光子相對應，利用安裝在分光儀上的晶體的衍射，控
制晶面和光子束之間的角度。
·能量色散分光儀(EDS)，其中一個(gè)多通道分析器產(chǎn)生光子
能譜。
在這兩種情況下，譜峰對應于特定的元素，而其峰面積對應于
所含元素的百分含量。WDS的分辨率優(yōu)于EDS，盡管如此，到目
前為止前者僅適用于相當少的元素。但是，對于輕元素來(lái)說(shuō)，儀器
在自然狀態(tài)并采用防污染裝置，對碳以上的元索都可用WDS定
量分析。
TEM裝置也能進(jìn)行顯微分析，EDS是目前最常用的檢測技
術(shù)，與EELS一起用于檢測輕元素
令人感興趣的應用之一是固定與特定元素相對應的波長(cháng)(或
能量)可以獲得固體表面的形貌(用SEM)或固體樣品(用STEM)
的形貌，并顯示元素的分布情況。這對腐蝕現象、表面，尤其是電極
表面的構成提供了非常有用的信息。
利用新發(fā)展的紅外掃描顯微鏡(SIRM)能夠補充EPMA提供
的信息，尤其是吸附物的原位鑒別。
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