本文標題："SEM電子顯微鏡測試樣品-放大倍率和圖像分辨率"
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SEM電子顯微鏡測試樣品-放大倍率和圖像分辨率
SEM用來(lái)觀(guān)察材料的表面結構，其分辨率小于2nm.因此.它能夠用來(lái)測
定粒子尺寸、形狀和分散度，也可以通過(guò)X射線(xiàn)信號測定樣品的化
學(xué)組成和元素分布。
與TEM不同，SEM測試中樣品尺度純粹受樣品室物理尺寸的限制，而
不是透鏡和孔徑。典型的樣品臺直徑在10~ 40mm范圍內，當然樣品可以
比它薄得多。
一般而言.觀(guān)察塊狀樣品和薄膜狀或分散狀的樣品都一樣容易。除了要符
合能常規成像的樣品應具有的穩定性標準外.不導電的樣品必需包搜一層
導電膜(碳、金、鉑或把)。這樣可以防止電荷在樣品上的聚集而使相關(guān)
圖像扭曲
主要的可調的儀器操作條件有加速電壓、掃描速度、光斑大小/電子束電流、
光闌大小、工作距離和傾斜度.
SEM中用的加速電壓比TEM低.典型值在1kV到30kV之間。電壓的選
擇取決于材料的性質(zhì)、需要的放大倍率和圖像分辨率。一般來(lái)說(shuō)，高分辨率的工
作需要較小的光束立徑，因此需要用高的加速電壓來(lái)產(chǎn)生較強的發(fā)射信號以便成
像。不過(guò)，SEM中高加速電壓會(huì )導致電子束對樣品的穿透厚度增加
(比如AlSkeV-lnm, 30keV-10nm)。圖像信息更大程度地來(lái)自樣品更深處，因此造
成表面細節丟失。樣品損傷機會(huì )加大
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