本文標題："電鍍工藝微晶結構,金屬樣品噴鍍厚度檢測顯微鏡"
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電鍍工藝微晶結構,金屬樣品噴鍍厚度檢測顯微鏡
利用電鍍工藝可以復制光柵一樣的很小結構。為了制造注塑模壓工裝的模
芯，需要對原型光柵(例如，利用全息工藝將其制造在玻璃基板上光致抗蝕劑薄
層中)進(jìn)行電鍍復制。該工藝對光致抗蝕劑層的耐化學(xué)性、對基板的附著(zhù)能力以
及處理條件都有很高的要求。
將一厚度約100mm的金導電起始層噴鍍在抗蝕劑結構層上。為了保證
模壓微結構表面所需要的微晶結構，該電鍍工藝采用低電流密度(
由于要求量小的內應力，所以.使用含高表面活性劑的鎳氨基磺酸電解液。
通過(guò)工裝模芯和靠模樣板的相互加工，可以達到非常高的定位精度。
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