本文標題："電子顯微鏡是根據不同原理的現象來(lái)構成襯度的"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
人瀏覽過(guò)-----時(shí)間：2014-8-18 10:33:25
電子顯微鏡是根據不同原理的現象來(lái)構成襯度的
另一種是掃描電子顯微鏡((SEM)，它可以對樣品表面進(jìn)行掃描.
透射電子顯微鏡可以有很高的分辨率(3~5埃左右)，而掃描電子
顯微鏡的分辨率只有100~200埃.可是，透射電子顯微鏡只能使用
薄得足以使電子束能明顯穿透過(guò)的試樣.所允許的實(shí)際厚度與材料
及所用的加
速電壓有關(guān)，但一般小于2000埃.因此，微電子學(xué)中所用的大多數
薄膜，即使它們不是附在較厚的基片上，對用透射電子顯微鏡觀(guān)察
而言也是太厚了.為此，塊狀的材料或較厚的薄膜必須減薄，或者，
假如只是對表面結構有興趣，則可以用足夠薄的膜來(lái)制作復型.
掃描電子顯微鏡是根據一些不同的現象來(lái)構成襯度的，所有
的測量都能在一個(gè)表面上進(jìn)行.對于基本的材料研究，諸如尋找
沉淀物以及研究晶粒結構和位錯，透射電子顯微鏡是最適合的.對
于器件工藝的控制和失效分析，則掃描電子顯微鏡更為有用，它
可用作為光學(xué)顯微鏡的擴展，或用來(lái)檢側任何其它方法都不易辨別
的缺陷.
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