本文標題："取樣樣品輪廓圖分析用微小形狀檢測用光學(xué)顯微鏡"
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取樣樣品輪廓圖分析用檢測顯微鏡
輪廓波形象表面本身一樣是很復雜的，是各個(gè)發(fā)生的頻
率結合起來(lái)的總和所形成的，輪廓圖則是其可看見(jiàn)的表象。
用肉眼來(lái)區別頻率是不容易的，最多只能找出少數幾個(gè)有規
則重復的微觀(guān)不平度形成的頻率，但復雜的波形經(jīng)過(guò)電技術(shù)
處理就能將各個(gè)形成的頻率都分析出來(lái)。
放大器的波段寬度總是比記錄器的大，所以這個(gè)因素無(wú)
需在這里考慮。‘放大器的頻率反應可以(和經(jīng)常)通過(guò)濾
波器加以改變.使用濾波器來(lái)減少高些或低些的頻率的相對
波幅，就有可能分辨出波形中的粗糙度和波紋度的構成成
分，
采用濾波器也必須取一個(gè)適當的截取波長(cháng)值，這相當于在
表面上選擇一個(gè)適當的取樣長(cháng)度。
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