本文標題："微型的光學(xué)測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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微型的光學(xué)測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡
在常用的超精密形狀測量法中，利用光干涉的面
形測量法運用的最多。干涉測量法的應用前提是必
須要保證基準元器件的精度，但如何保證其精度是
現在面臨的主要問(wèn)題之一。而且目前非球面形狀的
干涉測量法仍舊不成熟，這也是現在需要解決的關(guān)
鍵問(wèn)題之一。鑒于干涉法對振動(dòng)或環(huán)境的適應很弱
的情況下，該測量方法更傾向于大型化的光學(xué)系統
測量，而不是傾向于微型的光學(xué)測量或機械測量。
與此相對應的是，掃描測量方法可以實(shí)現球面或平
面，以及非球面等多種形狀的簡(jiǎn)單在線(xiàn)測量。
一般的， 在掃描測量法中，需先確定好嚴格的測
量基準，然后開(kāi)始對對被測物體進(jìn)行掃描，以此查
獲得被測量物的相對位置變化或相對角度等。根據
母性原理，掃描測量法和測量精度由以下兩個(gè)因素
決定：
（1）傳感器的檢測精度
（2）掃描基準的運動(dòng)精度
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