本文標題："表面結構的高度測量多功能萬(wàn)能工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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表面結構的高度測量多功能萬(wàn)能工具顯微鏡
已經(jīng)有許多試圖分離粗糙度和波度的使用方法的建議
，最行之有效的建議就像英國標準中那樣；有切削工
具所產(chǎn)生的加工紋路為粗糙度，而那些由于導軌誤差
、振動(dòng)等所引起的振紋屬于波度。
現一般確認給出與波長(cháng)信息有關(guān)的函數是表面的
自相關(guān)函數或功率譜，但是調研結果表明，用廉價(jià)的
儀器不能輕易測得這個(gè)參數。
要控制表面的功能特性，以至當涉及制造工藝的
時(shí)候，只憑表面結構的高度測量是不充分的，這一點(diǎn)
幾乎沒(méi)有疑問(wèn)，平均波長(cháng)參數引出了一個(gè)附加的控制
參量，這個(gè)參數取決于形成表面的波長(cháng)，更確切地說(shuō)
，它取決于他們的相對幅度。用比較廉價(jià)的儀器可以
方便地獲得這個(gè)附加的參數。
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