本文標題："掃描電子顯微鏡放大倍數為20倍時(shí),景深為5000μm"
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掃描電子顯微鏡放大倍數為20倍時(shí)，景深為5000μm
掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡的萬(wàn)象原理是：電子
槍發(fā)射出來(lái)的電子束，經(jīng)電磁透鏡聚焦后，變忝具有一定
直徑的電子束，再聚焦后照射材料表面，在材料表面一定
深度范圍內激發(fā)各種信號，如二次電子，背散射電子、電
子、特征X 射線(xiàn)對應信號，并對該信號進(jìn)行解調，放大處
理，信號強度便反應樣品的表面狀態(tài)。
掃描電子顯微鏡的放大倍數如為20倍時(shí)，其景深為5000
μm ，此時(shí)分辨率為5 μm ，而金相顯微鏡的放大倍數若
為20倍時(shí)景深只有5 μm.SEM 的放大倍數若為10000 倍，
景深也可達10μm ，此時(shí)分辨率為0.01μm ，因此。SEM
適合于觀(guān)察高低起伏較大的表面，如斷口表面等，與OM相
比，SEM 可顯示樣品表面的三維形態(tài)，圖象的立體感較強，
而且由于樣品激發(fā)出的信號攜帶樣品的成分、組織、結構、
形貌等諸多信息，因而若配備有能譜儀等附件，SEM 可實(shí)
現對綸形貌觀(guān)察的同時(shí)，進(jìn)行微區成分分析。SEM 分辨率
現所選擇的成象信號種類(lèi)有關(guān)；在采用二次電子束成象時(shí)，
SEM 的橫向分辨率最高達6nm ，但是SEM 在垂直于樣品表
面方向（z 方向）的分辨率較差。
樣品表面形成氧化膜或吸附層后，將嚴重影響樣品的
導電性，例如，當游離氧原子在金屬表面吸附后，金屬內
的部分自由電子將與氧原子結合，形成氧化物離子晶體，
離子晶體中，金屬正離子實(shí)與氧原子間以靜電引力結合，
自由電子被束縛，因而，固態(tài)離子晶體的導電性很差。
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