本文標題："光學(xué)顯微鏡采用非接觸方法來(lái)測量表面粗糙度"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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光學(xué)顯微鏡采用非接觸方法來(lái)測量表面表面粗糙度儀
使用照相記錄的斑紋干涉量度學(xué)
干涉儀是測量波列之間相位差的光學(xué)儀器，由此推論，它
也是利用光的波長(cháng)測量長(cháng)度的光學(xué)儀器．
指出，當光的波列本身是復雜的亦即是斑紋圖樣場(chǎng)時(shí)，不能直
接作出這些測量．需要實(shí)行某種光學(xué)處理來(lái)提取信息．在很
多情況下，這個(gè)中間步驟最好是通過(guò)照相記錄斑紋圖樣強度
分布來(lái)實(shí)現．當然必須使用能分辨斑紋的照相材料，這可能
需要使用細顆粒的全息干板或膠片．照相法的優(yōu)點(diǎn)不僅在
于能提供一個(gè)光學(xué)濾波器重新插入光學(xué)系統中，能作“活”
測量，而且用雙曝光法能永久記錄一段時(shí)間內發(fā)生的相位變
化．全息干涉量度學(xué)中使用照相記錄的情況與此類(lèi)似．
需要尋找一種良好的非接觸方法來(lái)測量表面應變，即一
種取代常規應變計的方法，無(wú)疑地促進(jìn)了斑紋干涉量度學(xué)的
發(fā)展．雖然已經(jīng)知道全息干涉量度學(xué)，能夠測量三維空間
內總的表面位移和形變，但實(shí)際上要把運動(dòng)的面內分量與離
面分量分開(kāi)是困難的．而且這個(gè)方法對位移和轉動(dòng)的不同方
向的靈敏度可以顯著(zhù)不同．要測量應變，我們只需要測量面
內位移，并找出它的變化與所要求的方向上的距離之間的函
數關(guān)系．將要指出，斑紋干涉量度學(xué)能做到這一點(diǎn)，與垂直于
表面的方向上發(fā)生的任何位移無(wú)關(guān)．
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