本文標題："精密加工相適應的精密測量萬(wàn)工顯制造廠(chǎng)商-工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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最近的精密加工大致分為兩類(lèi)。一類(lèi)是在原有的機械加
工中，增加數字控制裝置或自動(dòng)控制裝置，在金屬模的自由曲
面加工中尤為常見(jiàn)。另一類(lèi)是用新的物理化學(xué)方法加工高精
度標準尺、繞射光柵的刻線(xiàn)和集成電路等。
與上述精密加工相適應的精密測量方法，是在零件加工
過(guò)程中，對零件的尺寸、形狀和位置誤差進(jìn)行自動(dòng)測量和在加
工后進(jìn)行精密測量(如光波干涉法等測量方法)。
為了能在加工中或加工后迅速地計算處理測量數據，必
須使用電子計算機，然后把計算機處理的數據反饋給機床，以
保汪及時(shí)地控制加工情況。
加工中時(shí)刻變化的測量值是時(shí)間序列信息。加工后測得
的零件的尺寸、形狀、表面表面粗糙度儀等數據，也可按時(shí)間序列信
息處理。研究這兩種時(shí)間序列信息的相關(guān)性并用來(lái)處理測量
數據，可以獲得加工機床及測量?jì)x器的動(dòng)態(tài)特性。
用金剛石觸針測量加工表面的凹凸及波紋時(shí)，得出的信
息都屬于時(shí)間序列信息。最近研制成的脈沖編碼調制激光探
測視頻圓盤(pán)，對時(shí)間序列信息的加工、測量及其數據處理都起
了很大的作用，開(kāi)拓了新的領(lǐng)域。
從前的測量大都是由人直接讀取被測量值，因此在研究
測量方法時(shí)，也多基于如何使被測量值容易讀取。然而，為了
提高測量效率，實(shí)現測量過(guò)程自動(dòng)化，特別是為了消除人為的
測量誤差，必須研究新的測量方法。
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