本文標題："試樣檢測顯微技術(shù)可同時(shí)觀(guān)測樣品表面形貌電子顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
人瀏覽過(guò)-----時(shí)間：2015-10-19 4:4:2
試樣檢測顯微技術(shù)可同時(shí)觀(guān)測樣品表面形貌電子顯微鏡
以往對疇結構的研究主要利用了鐵電疇的電、光性質(zhì)。利用對鐵電疇的力學(xué)
性質(zhì)的觀(guān)察是一種新的嘗試。從電聲成像的壓電模型知道，所獲得的聲信號取決
于材料的壓電系數和能量耗散區壓電振動(dòng)模式，即材料的力學(xué)性質(zhì)提供了電疇成
像的襯度。
由于這種方法獨特的成像機理，掃描電聲顯微技術(shù)對電疇結構的研究具有非
常突出的優(yōu)點(diǎn)：
(1)具有普遍適應的試樣檢測范圍，包括鐵電體、鐵彈體和鐵磁體，并不局限
于某些特殊的材料；
(2)非破壞性成像使電疇結構保持了自然形態(tài)，對樣品疇結構可進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)
態(tài)研究觀(guān)察；
(3)由于電聲顯微鏡具有亞表面成像能力，可獲得樣品亞表面疇結構信息；
(4)不需要對試樣做特殊的處理，不用進(jìn)行拋光、減薄或者腐蝕等煩瑣的樣品
制備過(guò)程，大大簡(jiǎn)化了對單疇進(jìn)行觀(guān)察的實(shí)驗工作；
(5)可同時(shí)觀(guān)測樣品表面形貌(SEI)和疇結構形貌(EAI)，可以更為詳盡地研
究電疇結構與晶粒、晶界和缺陷等空間特性的關(guān)系；
(6)獲得的電疇圖像形貌清晰，有較高分辨率。
電聲顯微技術(shù)(SEAM)經(jīng)過(guò)僅十余年的研究，在成像技術(shù)和成像理論方面都
有了很大的發(fā)展，被應用于眾多的材料研究領(lǐng)域并引起了廣泛的關(guān)注。其獨特的
成像機理和非破壞的亞表面觀(guān)察能力使其在進(jìn)一步被推廣應用等方面具有很大的
潛力。
電聲顯微鏡應用于鐵電疇結構的研究只有3年，已取得了不少開(kāi)創(chuàng )性的結果。
作為一種新的觀(guān)察電疇結構的方法，它豐富了電疇觀(guān)察手段。利用掃描電聲顯微
鏡實(shí)時(shí)研究電場(chǎng)作用下疇的成核、生長(cháng)等運動(dòng)規律；研究溫場(chǎng)作用下鐵電相變中疇
結構、疇運動(dòng)規律；研究外加應力對電疇結構的影響；研究鐵電疇電聲成像的微觀(guān)
機制并完善對電聲成像的分析等構成了未來(lái)鐵電疇電聲學(xué)研究的主要內容。
當然，電聲顯微鏡在疇結構觀(guān)察方面的分辨率還有待提高，因為部分鐵電材料
的疇結構研究需要納米級的分辨率。鐵電疇電聲成像的理論框架雖然已經(jīng)建立，
但其深入的理論還需要進(jìn)一步完善。鑒于本章所述的鐵電疇電聲顯微成像的主要
優(yōu)點(diǎn)，通過(guò)這些年的努力，電聲顯微鏡已經(jīng)成為電疇觀(guān)察方法中的重要手段。
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