本文標題："不同材料輪廓測量-不同材料對應的光學(xué)常數"
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不同材料輪廓測量-不同材料對應的光學(xué)常數
不同材料
只要物體的表面由單一材料構成，由于只引人了一個(gè)全場(chǎng)同一
的變化，光譜位相就不會(huì )呈現出問(wèn)題。然而，當表面并排出現兩種
不同的材料時(shí)，對于不同的波長(cháng)材料在反射時(shí)將會(huì )引入不同的相移
(除非它們都是折射率虛部k=0的介質(zhì)材料)，而且在兩種材料交接
的邊界上測量得到的高度差是錯誤的。通過(guò)就測量中所使用的波長(cháng)
了解不同材料對應的光學(xué)常數，可能校正這種差異
一般說(shuō)來(lái)，當用干涉技術(shù)來(lái)測量薄膜或者厚膜時(shí)，不但是其厚
度，而且其頂部和底部的輪廓都能測量。薄膜干涉的光譜位相具有
一個(gè)多項式形式，多項式與所選擇膜的模型式是相匹配的，使用回
歸分析可以確定最佳匹配及薄膜的厚度。
為了得到更高的精度，需要知道系統色散引起的光譜相位，并
將其去扣除?？梢岳糜嬎愦笮?lái)替代，不是計算光譜位相和確定
最佳匹配模擬光譜位相，而是可以利用計算幅度，并且這樣通過(guò)獲
得最佳匹配的模擬幅度大小來(lái)確定膜層的厚度。這些方法適用于光
學(xué)厚度從幾個(gè)微米到100nm的膜層。針對光學(xué)厚度小于100nm的膜層
，這種方法的靈敏度會(huì )明顯減小。
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