本文標題："測量光學(xué)儀靜止-測量額外的振動(dòng)和空氣湍流"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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測量光學(xué)儀靜止-測量額外的振動(dòng)和空氣湍流
環(huán)境條件
環(huán)境條件(尤其是溫度系數)可以影響激光波長(cháng)的參考值，因此
影響測量精度。環(huán)境的溫度、壓力和相對濕度都屬于眾多一般因素
中應盡可能解決的環(huán)境因素。此外，環(huán)境參數的變化也可能導致在
校準和補償階段有不適當的幾何誤差補償，不同的環(huán)境條件得到不
同的機械幾何特性。雖然它們的影響在機器上可能會(huì )是隨機的，但
是它們可以在一定程度上得到補償。
CMM(坐標測量機)和機床的熱效應可以使機械的結構產(chǎn)生非常
復雜的特性。它們有不同的來(lái)源，包括不直接與機械相關(guān)的操作，
如房間溫度、光源和液壓系統等。為了盡量減少熱膨脹效應，就必
須讓機械和光學(xué)儀溫度穩定，然后才能測量。良好的環(huán)境溫度調節
可能是必要的，這取決于應用程序和要求。雖然可以近似補償，但
全部由電腦熱補償是非常困難的。一階熱效應建模與補償更現實(shí)和
適合實(shí)際情況。一階熱校正需要每軸至少有一個(gè)傳感器。使用多個(gè)
幾何誤差模型來(lái)反映幾何學(xué)中的熱效應，每一個(gè)模型在特定的工作
溫度范圍內是有效的。
測量光學(xué)儀靜止時(shí)，額外的振動(dòng)和空氣湍流可以由測量結果的
隨機漂移來(lái)確定。也可以由漂移的增加或連續運行使光學(xué)部件間距
離的增加來(lái)確定它們的影響。防止影響的方法是確保所有設備的剛
性固定和支撐，并利用足夠的通風(fēng)設備讓空氣充分流通。
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