本文標題："電子在經(jīng)過(guò)了與樣品的相互作用后從樣品底部逸出"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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電子在經(jīng)過(guò)了與樣品的相互作用后從樣品底部逸出
透射電子顯微鏡(TEM)
當需要對樣品進(jìn)行高空間分辨率的檢測時(shí)，就要用到透射電子顯微
鏡(TEM)。樣品要足夠薄，使得電子束能夠透過(guò)，制備樣品時(shí)可直接減
薄或鑲好后減薄截面。如果興趣在于得到小的析出相的特征，可觀(guān)察從
樣品制得的碳萃取復型。
電子在經(jīng)過(guò)了與樣品的相互作用后從樣品底部逸出。透射光束中的
電子基本上與樣品沒(méi)有任何相互作用就從樣品中穿過(guò)；衍射光束中的電
子沒(méi)有損失能量(彈性散射)，但是因滿(mǎn)足角度準則(與x射線(xiàn)的布拉格定
律相似)被散射到一個(gè)新的路徑。透射束和衍射束可用來(lái)形成樣品的高
分辨率(在1 nm級)圖像，衍射柬還用來(lái)形成樣品微小區域的選區衍射圖
(SAD)，它類(lèi)似于XRD譜含有晶體學(xué)的信息。
與樣品相互作用后損失了能量的電子(非彈性散射)也逸出了樣品，
電子能量損失譜(EELS)就是以測量電子損失的能量為基礎，使進(jìn)行高精
度化學(xué)分析成為可能。
最后，在TEM中激發(fā)的特征x射線(xiàn)和在SEM中一樣，經(jīng)過(guò)采集分析可
得到化學(xué)成分信息，由于x射線(xiàn)是在比SEM小的樣品體積中產(chǎn)生，因此可
用來(lái)分析微小的形貌特征。
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