本文標題："電子顯微鏡(SEM)中的電子PVC技術(shù)-EoS失效分析"
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電子顯微鏡(SEM)中的電子PVC技術(shù)-EoS失效分析
EoS失效分析——PVC工具
電壓對比技術(shù)可以用來(lái)評估與“開(kāi)路”和“短路”相關(guān)的EOS
失效機制。電壓對比技術(shù)包括無(wú)源電壓對比(PVC)和有源電壓對比(
AVC)。
PVC技術(shù)并不會(huì )把襯底或管芯連接到電源或信號上。半導體電
路中的PVC失效定位方法是基于對比器件的“暗”或“亮”之間的
差異來(lái)確定器件是否接地、反向偏置或是懸空。聚焦離子束、電子
束是用來(lái)給物理結構充電，用探測器來(lái)對響應信號進(jìn)行成像。輻射
的來(lái)源是聚焦離子束(FIB)的離子和掃描電子顯微鏡(SEM)中的電子
。
對于EOS失效分析，PVC可以用來(lái)評估短路連接、開(kāi)路電路、柵
極電介質(zhì)擊穿漏電和合金結漏電。
EOS失效分析——AVC工具
有源電壓對比(AkiC)技術(shù)可以用來(lái)評估與“開(kāi)路”和“短路”
相關(guān)的EOS失效機制。對f大型結構、鏈路和復雜互連，無(wú)源電壓對
比(PVC)的作用很有限。AVC技術(shù)的一個(gè)優(yōu)勢是對比的提升，對較大
的缺陷和復雜電路的開(kāi)路、短路或結構缺陷之間的區別更清晰。
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