本文標題："光學(xué)成像配合影像測量軟件-專(zhuān)業(yè)影像測量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
人瀏覽過(guò)-----時(shí)間：2013-1-17 5:35:16
光學(xué)成像機制搭配像散式量測系統（ADS）可成為一套完整之光學(xué)量測平臺。
此成像機制可觀(guān)察量測光點(diǎn)以及物體表面之微小結構間之距離關(guān)系，
搭配一致動(dòng)器可將ADS之量測光點(diǎn)對焦于物體表面上微小結構之不同區域，并量測此結構之高度角度及其變化。
可能的應用范圍：
1. MEMS元件制程良率檢測
2. 光學(xué)表面輪廓儀應用。
3. 以懸臂樑為基礎之生化感測器量測應用
優(yōu)點(diǎn)：
1. 大幅縮短像散式量測系統之雷射光點(diǎn)瞄準時(shí)間
2. 提升像散式量測系統之使用方便性
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