本文標題："材料科學(xué)以及材料微觀(guān)結構觀(guān)察金相顯微鏡"
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材料科學(xué)以及材料微觀(guān)結構觀(guān)察金相顯微鏡
利用直流濺鍍成功地從材料科學(xué)的角度切入，將材料結構、性質(zhì)及制程間的相
互關(guān)系連結起來(lái)，達到掌控薄膜工藝制程，
進(jìn)而改變薄膜微結構，經(jīng)由改變?yōu)R鍍原子入射通
量方向的斜向鍍著(zhù)技術(shù)，能產(chǎn)生分立柱狀、
ㄑ型及多彎折形等具有不同顯微形貌的薄膜，
其相互之間或與正向鍍著(zhù)的微結構及表面形貌皆因遮蔽效應而有所不同，
此外α與β關(guān)系上的研究顯示，前人利用蒸鍍法所獲得tangentrule 及cosine rule 的兩種理論，
本研究驗證
此兩種理論于低的工作氣壓下亦可適用于濺鍍法
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