本文標題："STM顯微鏡解析度高于光學(xué)式顯微鏡-精密工藝技術(shù)"
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STM顯微鏡解析度高于光學(xué)式顯微鏡-精密工藝技術(shù)
在各類(lèi)科技不斷湧現的今天，究竟哪一種技術(shù)才稱(chēng)得上是革命性的技術(shù)？對此，
不同領(lǐng)域的學(xué)者或有不同的見(jiàn)解，但綜觀(guān)目前的科學(xué)主流，一般咸認納米科技是最有潛力成為下一個(gè)足以影響
人類(lèi)的革命性技術(shù)之一。
自 1980 年代初發(fā)明了 STM顯微鏡（scanning tunneling microscope）、AFM顯微鏡（atomic
force microscope）等解析程度達原子級的顯微鏡，使得研究人員能夠觀(guān)測到材料
的微結構，在此基礎下，材料可被精緻化，舊有材料性質(zhì)得以改善，甚至開(kāi)發(fā)出
許多性能獨特的新材料，如今這種在超細微尺度下的精密工藝技術(shù)統稱(chēng)為納米科技
微觀(guān)粒子具穿越能障的能力，稱(chēng)之為穿隧效應。在納米科技興起以前，此現
象僅能在原子層級的微觀(guān)世界中觀(guān)測到，近年來(lái)于納米材料的相關(guān)研究，陸續在
宏觀(guān)的實(shí)驗里量測到了一些與穿隧效應有關(guān)的巨觀(guān)物理量，例如納米微粒的磁化
強度和量子相干元件中之磁通量等測量，均發(fā)現穿隧效應的現象存在，故稱(chēng)之為
巨觀(guān)量子穿隧效應（賴(lài)佳伶，2003）。常規鎳金屬在室溫時(shí)呈強鐵磁性，但鎳奈
米粒子卻呈現順磁性，且其飽和磁化率較一般順磁性材料高好幾個(gè)數量級，此行
為被歸類(lèi)為超順磁性（super-paramagnetism），研究人員便是利用電子的量子穿隧
效應來(lái)解釋超順磁性行為（羅吉宗等，2003）。巨觀(guān)量子穿隧效應不僅對基礎研
究有相當的重要性，對實(shí)用化的應用更具意義；如在制造半導體積體電路時(shí)，當
電路尺寸接近電子波長(cháng)，電子會(huì )藉由穿隧效應而溢出元件，使原件無(wú)法正常工
作。
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