本文標題："集成電路檢測分析用的立體顯微鏡制造廠(chǎng)商及型號"
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集成電路檢測分析用的立體顯微鏡制造廠(chǎng)商及型號
然而，利用入射光時(shí)，為了易于暗場(chǎng)照明.必須利用配備有環(huán)狀聚光鏡的物鏡或利
用包含與光路中心相一致的暗場(chǎng)光闌的物鏡。因此，暗場(chǎng)照明要求專(zhuān)用于暗場(chǎng)顯微術(shù)
的專(zhuān)用物鏡(前面提到的Leitz WetzlarTM L 50 X /0. 60 NA DF屬于暗場(chǎng)物鏡，DF表
示暗場(chǎng))。
要討論的最后一項技術(shù)楚干涉反差照明技術(shù)。干涉反差照明的專(zhuān)用形式是諾馬
爾斯基(Nomarski )差動(dòng)干涉反差照明(DIC)。這項技術(shù)十分受集成電路分析入員歡
迎，因為利用這項技術(shù)時(shí)很細微的細節都變得非常明顯。有時(shí)，它也會(huì )表現出表面凸
起。同暗場(chǎng)照明一樣，干涉反差照明需要特殊的顯微鏈設備和轉換器，用于構成每臺
顯微鏡的專(zhuān)用裝置都委托顯微鏡制造完成。
集成電路故障分析技術(shù)顯微鏡制造廠(chǎng)
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