本文標題："表面輪廓定量測量常用的光學(xué)顯微鏡定制應用"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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表面輪廓定量測量常用的光學(xué)顯微鏡定制應用
自動(dòng)觸針系統
觸針式儀器是得到表面輪廓定量測量的傳統工具，然而，由于
它可能劃傷表面以及對表面的錯誤描述面受到批評，非接觸測量
技術(shù)的倡導都對觸針拖動(dòng)引起的劃傷和由于針尖有限半徑引起的
衰減影響進(jìn)行過(guò)評論。
在許多工程、機械制造經(jīng)濟學(xué)、節能和特別是影響普通消費者
的醫學(xué)等領(lǐng)域里，加深了對表面表面粗糙度儀重要性的認識，這對目前
工程表面的研究趕著(zhù)促進(jìn)作用，令人驚訝的是，這種研究突出了
需要直接解決的新問(wèn)題，以便解決提供足夠的表面特征的原始課
題。
盡管在二十多年前就已認識到單個(gè)表面特征參數不太適當，但
是工程表面的標準很少發(fā)生改變，停止不前的原因主要是沒(méi)有認
識到三維問(wèn)題，制作了精巧的能在整個(gè)被測表面上平行滑行的觸
針式掃描機構，以便能得到三維信息，后來(lái)，利用類(lèi)似的原理用
泰勒塞夫輪廓儀做了個(gè)掃描系統，它能滿(mǎn)意地用來(lái)解決實(shí)際問(wèn)題
，然而，它要求對泰勒塞夫的設備作較大的變動(dòng)，以便在每次滑
行以后將其觸針臂返回到起始位置。
掃描電子顯微鏡本身就能方便地掃描并產(chǎn)生所研究表面的圖象
，嘗試過(guò)用三種方法定量分析來(lái)自?huà)呙桦婄R的信息：信息強度即
對比度，立體照相和電子光截法，在每種方法中，都遇到二次電
子發(fā)射的判斷和預測問(wèn)題，在分析表面粗糙度時(shí)也研究過(guò)微波的
應用，但還沒(méi)有成功，表面的算術(shù)平均粗度值和度量反射能力的
安培計相應讀數之間沒(méi)有確切的關(guān)系。
同時(shí)，分差帶的要求與他們自己的表面微觀(guān)結構相比將變得更
接近，而我們已經(jīng)充分建立起來(lái)的解析工程表面的觸針式儀器仍
然是最富有生命力的工具。
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