本文標題:"粗糙度測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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表面粗糙度儀測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡
大多數表面都有某種程度的隨機性,因此需要以統計形式來(lái)分
析,在統計學(xué)上用來(lái)代表單個(gè)輪廓需要的數據點(diǎn)數是很大的,為
了表示一個(gè)區域,要將這個(gè)數平方,以及在數據處理和測陬方面
產(chǎn)生了難以解決的問(wèn)題,曾試圖用光學(xué)方法直接得到表面功率譜
表達式來(lái)解決這個(gè)數據獲取的問(wèn)題,但是這種技術(shù)受幾個(gè)不利條
件的限制:它假設表面的統計規律是平穩的和正態(tài)的;它應能給
出便于數據處理過(guò)程的信息形式;它需要用透明物質(zhì)做成的表面
復制品,以及隨之帶來(lái)一些缺欠,廣泛使用的另一種儀器是掃描
電子顯微鏡,它用電子束的櫥格式掃描產(chǎn)生表面的圖象,它的高
分辨率和聚焦深度使它成為研究較光滑表面的極有用的儀器,但
是評定粗糙的表面卻很困難。
缺乏定量的拓撲圖信息是所有上述技術(shù)的嚴重缺點(diǎn),特別是工
程應用中所關(guān)心的特性在分布的尺寸范圍內可復蓋許多數量級的
場(chǎng)合,研究三維空間表面的最可靠的方法仍然是用觸針式儀器在
表面上測得一組線(xiàn)值,本文討論了這個(gè)技術(shù),并敘述了用三維表
面測量的新的完整的自動(dòng)系統的設計,結構和使用。
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