本文標題:"光學(xué)顯微鏡微觀(guān)偏析是掩膜測量中廣泛使用的工具"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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光學(xué)顯微鏡微觀(guān)偏析是掩膜測量中廣泛使用的工具
光顯微技術(shù)
光學(xué)顯微鏡是掩膜測量中最廣泛使用的工具。在掩膜制備
過(guò)程中,有好幾個(gè)步驟需要測量和檢驗。光學(xué)顯微鏡適合于生產(chǎn)性
操作,因為它們的體積較小,而且技術(shù)人員能很快掌握操作技
術(shù),包括能很快掌握拍攝后立即沖洗的35mm寬的膠卷的使用技
術(shù)。
微觀(guān)偏析
到現在為止,我們僅討論了相對尺寸較大的體系在平面狀圃
液界面定向凝固時(shí)的溶質(zhì)分配。由于這種定向體系簡(jiǎn)
單,在作了一些近似處理后,推導出的方程也都是簡(jiǎn)單的。但若
將以前所用的方法鹿甩于枝晶的凝固,情況就變得極其復雜。因
此,必須進(jìn)行大量簡(jiǎn)化才能處理這類(lèi)問(wèn)題。
生長(cháng)中界面的形態(tài)穩定性是不能用經(jīng)典熱力學(xué)的定義加以確
定的,當前對平衡熱力學(xué)的引伸還沒(méi)能提供一種完全可接受的替
代方法。為了對生長(cháng)形態(tài)進(jìn)行理論分析,有必要采用建立在試探
基礎上的穩定性判據。所作的最簡(jiǎn)單的假設是:生長(cháng)中所呈現的
形態(tài)是具有最大生長(cháng)速率或最小過(guò)冷度的形態(tài)。另一種方法是采
用穩定性變量,建立擾動(dòng)的數學(xué)函數來(lái)描述圍液界面,以確定界
面是否可能從一種形態(tài)轉變成另一種形態(tài)。如果擾動(dòng)隨時(shí)間進(jìn)程
而增強,就認為界面形態(tài)是不穩定的,反之則是穩定的
現在來(lái)討論等軸凝固的情況,它與柱狀凝固完全不同
在這種情況下,熱通量是從熔液而不是從固相傳到型
壁。因此,為了在固液界面前沿建立必要的溫度梯度,熔液必須
是過(guò)冷的。液相中的溫度梯度將為負值,而固相中的溫度梯度基
本上等于零。這樣,擾動(dòng)在其尖端處將面臨更大的溫度梯度,導
致熱通量增加,使尖端處生長(cháng)速率增大。因此,在等軸凝固條件
下,純物質(zhì)的界面總是不穩定的(忽略動(dòng)力學(xué)過(guò)冷度)。直接的
結果是;純金屬等軸晶總是以樹(shù)枝狀形態(tài)生長(cháng)。由于
不存在偏析,在固態(tài)純金屬鑄件中將不能發(fā)現枝晶的痕跡。幸
而,這種情況下的枝晶生長(cháng)特征可以在純有機物或純水中非常清
楚地看到。
因此可以推斷,純金屬的固液界面當溫度梯度為正時(shí)總是穩
定的,而當溫度梯度為負時(shí)總是不穩定的。
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