本文標題："器件電效率細小電子元件幾何結構輪廓測量顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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器件電效率細小電子元件幾何結構輪廓測量顯微鏡
這種特殊結構的器件，在用載流子濃度和有源層長(cháng)度的
最佳乘積表示其特征時(shí)，最終的熱密度將受到所用長(cháng)度的影
響。因為，漸近瞬態(tài)溫度與這個(gè)長(cháng)度是線(xiàn)性相關(guān)的。和半無(wú)
限空間的擴展電阻有關(guān)的平衡溫度與這個(gè)長(cháng)度無(wú)關(guān)，而與該
器件的半徑成線(xiàn)性關(guān)系。
在本分析中可能出現的復雜性，是由于半導體材料的熱
導率與溫度成反比關(guān)系而引起的。雖然，找出了對于可變電
導率的穩態(tài)解，以致可以用線(xiàn)性分析求出所引進(jìn)的誤差大
小。但是，瞬態(tài)解還是忽略了這個(gè)問(wèn)題。
對幾種幾何結構，已經(jīng)推導出在單一脈沖和周期性激發(fā)
兩種情況下在有源層內的最終的溫度分布。利用歸一化的熱
時(shí)間常數和穩態(tài)溫度這兩個(gè)可變量，以圖解的形式表示這些
結果。并用有源層的長(cháng)度和有關(guān)的覆蓋層的厚度作為參數，
計算了用砷化鎵和硅作襯底的，具有特殊幾何結構的熱時(shí)間
常數。
為了更全面地了解這個(gè)問(wèn)題，特別是從材料和幾何結構
上考慮，應當了解由于有源區內的溫度分布而引起的對某種
器件的限制，并盡可能地使這些影響減至最小。器件電效率
的改善直接與管殼的熱效率有關(guān)，因此也與整個(gè)散熱器的設
計有關(guān)。
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