本文標題："微機械精密微小型多工藝復合加工技術(shù)分析顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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微機械精密微小型多工藝復合加工技術(shù)分析顯微鏡
目前，先進(jìn)制造技術(shù)的一個(gè)重要發(fā)展方向即為微細化、高精度
、復合型加工技術(shù)，而精密微小型多工藝復合加工技術(shù)是針對日益
增多的精密微小型復雜結構件加工難題而逐漸發(fā)展起來(lái)的先進(jìn)加工
工藝。推動(dòng)該項技術(shù)不斷深入發(fā)展的核心動(dòng)力，正是隨著(zhù)科技發(fā)展
，對微小裝置的功能、結構復雜程度、可靠性等要求越來(lái)越高，從
而使得對特征尺寸在微米級到毫米級、采用多種材料、且具有一定
形狀精度和表面質(zhì)量要求的精密三維微小零件的需求Et益迫切，如
微小型武器部件、航空航天慣性部件、精密醫療器械和國防及高科
技產(chǎn)品微小型產(chǎn)品等。
微機械加工技術(shù)經(jīng)過(guò)多年的研究開(kāi)發(fā)，已迅速發(fā)展成為具
有多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。隨著(zhù)微小型機械需求的增長(cháng)，對微
小型零件結構的復雜程度、材料的多樣性、形狀精度、表面表面粗糙度儀
等均提出了越來(lái)越高的要求，加工難度越來(lái)越大，必須研究更加先
進(jìn)的加工技術(shù)，以適應微小型零件的加工要求。車(chē)銑加工是一種先
進(jìn)的切削加工方法，將車(chē)銑技術(shù)運用于微小型零件的切削加工，是
微小型機械加工技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要趨勢。
微小型零件的概念和加工方法
所謂微小型零件，是指幾何特征尺寸在數十微米至數十毫
米范圍內的零件。比之小的有納米尺度和微米尺度零件，比之大的
稱(chēng)為常規尺度零件。因此把這種介于微米尺度與常規尺度之間的微
小型零件也稱(chēng)為“微米與中間尺度(micro／meso scale)零件，又
稱(chēng)為介觀(guān)尺度零件。
關(guān)于微制造技術(shù)，國際上大致分為兩個(gè)主要領(lǐng)域，一是以
硅微工藝和光刻電鑄(德文Lithographie，Galanoformung，Abform
ung，LIGA)工藝為代表的微制造技術(shù)，二是以傳統機械制造技術(shù)為
背景發(fā)展起來(lái)的微細結構制造技術(shù)，即精密微小型機械制造技術(shù)。
起源于集成電路芯片制作技術(shù)的硅微加工方法，首先在微
制造領(lǐng)域得到應用，并不斷完善和發(fā)展，但其三維體加工能力較差
，需要非常的超凈條件和受到線(xiàn)寬尺寸的限制，而LIGA或準LIGA工
藝需要較強的射線(xiàn)源，在制造高承載三維復雜結構件方面受到了限
制。
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