本文標題："掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀(guān)察和分析"
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掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀(guān)察和分析
掃描電子顯微鏡SEM
現在掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀(guān)察和分析上。入射
電子束在樣品表面掃描，激發(fā)的二次電子和背散射電子被探測器接收，
產(chǎn)生電信號調節電視監視器的亮度，由于監視器的掃描與電子束同步，
而且產(chǎn)生的二次電子和背散射電子的數量取決于樣品表面某微區的傾角
和聚焦深度，因此生成的圖像與樣品的表面形貌完全對應。用背散射電
子成像還可獲得有關(guān)原子平均質(zhì)量方面的信息。配置場(chǎng)發(fā)射電子槍的現
代掃描電子顯微鏡圖像"1放大倍數可高達100 000倍，分辨率達1 000 n
m。
因為人射電子還能從固體中激發(fā)出元素的特征x射線(xiàn)，所以可檢測
固體中存在的元素，如果做適當的校準，還可確定各元素的含量。x射
線(xiàn)探測器的輸出還可用于調節監視器的亮度，從而得出指定元素的相對
含量圖。由于能夠同時(shí)給出顯微組織和組成方面的信息，SEM成為研究
氧化膜形貌特征的非常有用的工具。
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