本文標題："SEM要求被測樣品表層為噴金鍍膜導電材料"
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SEM要求被測樣品表層為噴金鍍膜導電材料
但是由于SEM要求被測樣品表層為導電材料(非導電樣品需進(jìn)行表面
導電(噴金鍍膜)處理)，且測量時(shí)為防止空氣的存在導致電子發(fā)生
散射。需將所有電子運行部分處于高真空環(huán)境下。這些要求無(wú)疑提
高了檢測成本，限制了樣品的可觀(guān)測性，如對于具有微細結構的非
導電樣品，表面導電處理勢必會(huì )不同程度地遮蓋表面上的精細結構
。此外SEM無(wú)法直接獲得表面定量的三維形貌信息(Z方向尚未量化)
，而只能對表面形貌進(jìn)行定性觀(guān)察。
SPM采用極細的探針(針尖曲率半徑一般為10～20 nm)逼近樣品
表面，通過(guò)檢測探針針尖與樣品表面之間的相互作用信息(力、電
、磁、熱)獲得樣品的表面形貌(磁疇結構、熱導性質(zhì)等)。最為典
型的當屬掃描隧道顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope，STM)
及原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)。其中的STM基
于隧道效應理論，它將探針和樣品表面作為兩個(gè)電極并在兩極上施
加偏置電壓，通過(guò)檢測探針與樣品間隧道電流的變化來(lái)獲得表面形
貌。這種方法的縱橫向分辨率可分別達到0．01 nm和0．1 nm，但
為了使樣品與針尖間構成回路，STM要求被測樣品表面為導體。
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