本文標題："微結構體微加工微表面輪廓測量?jì)x器廠(chǎng)家"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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相同幾何形狀的陣列，用作機械過(guò)濾裝置。該種微結構是利用LIGA
技術(shù)生產(chǎn)的。LIGA技術(shù)使用了X射線(xiàn)光刻法、電鍍和成型過(guò)程(第7
章介紹了該方法)。計算機上完成的結構設計通過(guò)電子束寫(xiě)入器被
傳遞到掩模上。掩模的結構通過(guò)平行
LIGA過(guò)程的第一步是獲得一個(gè)微結構體。該結構體具備掩模的
橫向結構，高度由抗蝕劑的層厚決定。在后續步驟中，將被照射的
聚合層去除，代之以電鍍金屬。隨后在去除了非照射聚合層后，余
下的就是金屬結構模了。以該金屬模為模型，通過(guò)澆鑄或熱雕等過(guò)
程完成微結構的復制。盡管模型結構的制造成本較高，不過(guò)可以采
用多種材料批量生產(chǎn)的方法，從而使微結構體的生產(chǎn)變得非常經(jīng)濟
。
除了上述兩種基本方法之外，還有很多方法也采用上述技術(shù)的
某些過(guò)程。這些方法在特定的應用中有其獨特的優(yōu)勢。這里將引用
一個(gè)微機械生產(chǎn)的例子。這個(gè)微輪廓是在一個(gè)金屬平面上利用形狀
合適的金剛石刀具銑出的。通過(guò)加工形狀規則的結構和將微加工形
成的薄片正確地疊放，就可以較經(jīng)濟地生成三維微結構體。這個(gè)生
產(chǎn)方法與前面提到的兩種技術(shù)不同。
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