本文標題："懸浮顆粒分類(lèi)微結構技術(shù)樣品檢測顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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懸浮顆粒分類(lèi)微結構技術(shù)樣品檢測顯微鏡
環(huán)境包括：室溫、空氣濕度、空氣及所使用介質(zhì)中的顆粒密度
，如果一個(gè)0．5μm的污染物顆粒落在集成電路的重要部分，即使
不導致電路的失效也會(huì )引起巨大的損壞。半導體技術(shù)、微結構技術(shù)
和潔凈室技術(shù)是相互分不開(kāi)的概念。
一個(gè)低粒子濃度的環(huán)境是非常重要的，因此這就需要有一個(gè)恒
定的“污染空氣”與無(wú)顆?？諝獾慕粨Q。高質(zhì)量的清潔室是在層流
下運行的，因為空氣的渦流增加了實(shí)驗室環(huán)境下顆粒的停留時(shí)間。
實(shí)際的潔凈室是由第二個(gè)封閉層即“灰室”(在此已調整好新鮮空
氣流的溫度和濕度)構成的殼型結構。添加的新鮮空氣通過(guò)過(guò)濾的
天花板到達潔凈室，然后以適當角度并以層流流向潔凈室地板，在
力的作用下通過(guò)地板，再通過(guò)氣道傳輸回位于天花板上面的氣體處
理室。在處理室內，一些化學(xué)加工產(chǎn)生的廢氣被直接提取并分離后
處理。循環(huán)的空氣與一定溫度和濕度的新鮮空氣混合后，再送回到
位于過(guò)濾天花板上面的壓力室。通過(guò)對過(guò)濾器的濾孔尺寸、空氣流
量和制造環(huán)境參數的控制，可以得到一個(gè)符合懸浮顆粒分類(lèi)空氣質(zhì)
量等級標準的環(huán)境
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