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本文標題:"工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過(guò)-----時(shí)間:2013-3-15 0:10:49

 工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足

 
 
一為『三維掃瞄機二代 』,另一為『 低溫共軛焦顯微鏡 』 
 
垂直方向解析度不足一直是所有影像系統的問(wèn)題,工業(yè)上利用光學(xué)三角測量法(Optical triangulation) 測量z軸距離,
并藉由掃描方式得到三維影像。第二代則是利用斜向入射的條紋圖形(Moire pattern),并配合掃描即可快速得到高解析度三維影像,
 
設計用于斜向投影的(30度)的成像鏡頭,以及LED的背光系統,條紋的亮度均勻度在5 x 5 mm范圍,對比度可達 68.7% ,亮度均勻度可達78%。 
本文第二部份探討在深1600mm超導磁鐵內裝置共掃描軛焦掃描探測器(Scanning confocal probe),此影像探測鏡頭除了可偵測樣品電性外,
還包含光纖導入的激發(fā)光源、即時(shí)CCD影像監測與筒共軛焦掃描,可在低溫與高磁場(chǎng)下測量電信訊號與螢光影像特性。
 
最大挑戰為筒身長(cháng)達1600mm為一般顯微鏡10倍,因此像差均會(huì )被放大十倍,因此成像鏡頭組的設計與組裝為成敗關(guān)鍵。
 
依據現代顯微鏡來(lái)設計我們的組體架構,配合光學(xué)設計模擬軟體ZEMAX來(lái)設計透鏡組合,
解析度可達2.96um,MTF均在0.8以上,能量可達入瞳總強度76%。 

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工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足,金相顯微鏡現貨供應


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