本文標題："微機電系統制程制作微面鏡光學(xué)元件- 光學(xué)顯微鏡廠(chǎng)家"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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微面鏡之設計與制作及其反射特性之分析
體型微細加工方式設計出微鏡面，并利用微機電系統制程技術(shù)制作微面鏡光學(xué)元件。
利用8、10、12支懸臂樑，在懸臂樑上鍍金或白金當作反射之微面鏡元件，
運用兩種不同材料之膨脹系數不同與殘留應力，使懸臂樑造成向上翹曲，形成一微面鏡結構。
模擬分析與實(shí)作量測兩部份，
光學(xué)分析及光度分析的設計軟體，模擬懸臂樑翹曲之角度，
利用氦氖離子紅色雷射與氬離子綠色雷射兩光源，照射至微面鏡元件上，
量測其因反射所造成之光能量損失。在實(shí)作量測方面，利用兩光源照射至微鏡面元件上，
利用光能量?jì)x器量測經(jīng)反射所造成之光能量損失。
此研究為本實(shí)驗室新開(kāi)發(fā)之研究產(chǎn)品，在應用方面廣泛，可當作任何需要反射之元件，使機器微小化而不佔空間。
關(guān)鍵字：微面鏡、微機電系統、APILUX
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