本文標題："多種不同功能的量測工具顯微鏡-微小振動(dòng)的量測"
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多種不同功能的量測工具顯微鏡-微小振動(dòng)的量測
然而原先使得遠場(chǎng)光學(xué)顯微鏡加值的技術(shù)(如共焦術(shù)、光子穿隧顯微術(shù)、干涉術(shù)等)卻沒(méi)有充分地
與近場(chǎng)光學(xué)技術(shù)結合，因此本計畫(huà)主要提出將嘗試結合近場(chǎng)光學(xué)術(shù)(near-fieldmicroscopy)、
光子穿隧顯微術(shù)(photontunnelingmicroscopy)、干涉術(shù)(interferometry)三大技術(shù)，
經(jīng)由對前項技術(shù)做更詳細的討論后，提出創(chuàng )新整合架構來(lái)達成全新的量測系統，
以求能有機會(huì )以光學(xué)顯微系統來(lái)實(shí)現納米結構微小振動(dòng)的量測。
建構一套結構剛性佳且穩定性高的基礎顯微鏡架構，開(kāi)發(fā)多項功能以求同時(shí)能承載多種不同功能的量測系統；
共焦光學(xué)顯微鏡與光子穿隧顯微鏡，即是以一傳統的反射式光學(xué)顯微鏡為基礎，
將共焦光學(xué)顯微鏡之光路系統架構于其中，同時(shí)也以同一顯微鏡基礎，
利用光子穿隧效應接近近場(chǎng)光學(xué)顯微術(shù)的架構，研制了光子穿隧顯微鏡，
提供了一套擁有雙重功能的顯微鏡系統。通常一套共焦光學(xué)顯微鏡或光子穿隧顯微鏡，
在半導體廠(chǎng)用于檢測薄膜厚度的橢偏儀，亦是需要花費數百萬(wàn)之譜，
因此，想要同時(shí)擁有數種不同的精密量測設備
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