本文標題："微小尺寸透鏡放大式量?jì)x有投影儀和光學(xué)顯微鏡"
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微小尺寸透鏡放大式量?jì)x有投影儀和光學(xué)顯微鏡
透鏡放大式
透鏡放大式量?jì)x有投影儀和顯微鏡，在顯微鏡中使用光電顯微鏡測量
以前使用的投影儀都是靠人工測 測原理
量，其測量方法是，用刻度尺直接量被物鏡放大了的、投影到
屏上的影象，或者利用旋轉載物臺的測微鼓輪測量。
這種測量變?yōu)橹鲃?dòng)測量，在影屏上，二維地配置許多光電元
件，用這些光龜元件測量被放大了的投影工件的輪廓，并且進(jìn)
行光電轉換。這些光電元件是按零件公稱(chēng)值配置的，用作比較
測量，求其偏差?；蛘甙措娨暤姆椒⊕呙枵麄€(gè)影屏，用追蹤
輪廓明暗線(xiàn)條等方法來(lái)實(shí)現主動(dòng)測量。為了減少影象的偵
斜，可采用遠心光路照明
在微小尺寸和微小位移的測量中，又有兩種情況：①測量
的絕對值是表面各段微小尺寸差，②用比較法測量被測件與
標準件之差。不論是測量微小尺寸的絕對值，還是比較測量微
小長(cháng)度差，量?jì)x檢測微小長(cháng)度的機能都是相同的．通常把這
種測量?jì)x稱(chēng)為比較測量?jì)x。
在大尺寸和大位移測量中，是用標準尺等直接測量被測
件，即由標準尺等指示出測量值。通常把這種測量?jì)x稱(chēng)為指
示測量?jì)x。
因此，把微小長(cháng)度及微小位移的測量統稱(chēng)為比較測量，把
大尺寸、大位移的測量統稱(chēng)為指示測量，又稱(chēng)絕對測量。
光學(xué)主動(dòng)測量即光電轉換法．主要是通過(guò)光電轉換把測
得的光量轉換成電量。
幾何光學(xué)測量法
這種測量方法，包括光學(xué)杠桿式(很早就用于精密測量)
及透鏡放大式，這兩種方法都屬于被動(dòng)測量法。
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