本文標題："表面粗糙度會(huì )影響衍射圖分辨力,表面檢驗顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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表面表面粗糙度儀會(huì )影響衍射圖分辨力,表面檢驗顯微鏡
為了制造復制模，用一層漆膜覆蓋待檢驗的表面，這層漆膜
在干涸后含有該表面的細節。然后，從表面仔細剝去這層膜，以
免損傷有用的表面。為了改善電子象的襯度，將復制表面蔭蔽，
即用真空汽化法沿一定方向沉積一層原子序數高的金屬。將一層
碳或其它無(wú)定形材料置于真空中沿表面垂直方向蒸發(fā)。最后，將
在解釋用這種方法獲得的象時(shí)，另一種困難是，在同一復制
模上不能連續觀(guān)測大大小小的表面。連續觀(guān)測就可以確定所觀(guān)測
的特征的位置和相互關(guān)系。此外，在復制模上也粳難找出一定面
積的實(shí)際表面。復制模的優(yōu)點(diǎn)是，它是一種非破棼性方法，能觀(guān)
測表面在磨損過(guò)程不同時(shí)期的演變。
通常，反射衍射圖比較分散，其分辨能力不及透射圖的分辨
能蔫用反射技術(shù)時(shí)，表面粗糙度會(huì )影響衍射圖的分辨能力。當
粗糙度很高時(shí)，除了反射本身外，還會(huì )出現穿過(guò)微凸體頂峰的透
射規象。因此，用衍射來(lái)檢驗在摩擦副表面上形成的薄層時(shí)，只
席粗糙度低的表面。
試樣表面上的光點(diǎn)位置受到插在聚光透鏡與物鏡之間的
一組偏轉線(xiàn)圈所控制，從而保證最終聚焦。偏轉系統使表面能用
類(lèi)似于電視中所用的掃描技術(shù)來(lái)檢驗。
試樣所發(fā)射的次級電子被閃爍器一倍增器換能器所收集。這
時(shí)給出的電信號與所用的次級電子流強度成正比，經(jīng)過(guò)適當放大
后可調制陰極射線(xiàn)管的強度。使兩束電子束同步地偏移(偏離顯
微鏡和陰極射線(xiàn)管)，可顯示待檢驗表面的光學(xué)照片。應該指出，
和其它顯微鏡不同，這種顯微鏡不能直接提供表面的象；只有靠
分析器電子束與陰極射線(xiàn)管電子束以不同的幅度進(jìn)行掃描，才能
得到放大。最終的象是逐點(diǎn)形成的，而分辨率取決于試樣電子點(diǎn)
的直徑。目前，直徑能小于1μm，從而導致實(shí)際分辨率小于1μm．
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