本文標題："碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠(chǎng)商"
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碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠(chǎng)商
關(guān)于碳化硅晶體的內部結構及其晶面
蜷線(xiàn)顯微形貌的某些特征
應用多光束干涉法測定了碳化硅晶面上的顯微形貌 ，根據X射線(xiàn)
的研究結果討論了碳化硅表面形貌與其內部結構的密切關(guān)系。
碳化硅晶體有兩種特性：一方面是晶面的螺旋——層狀結構，另
一方面是多型性，亦即內部結構的超周期性；毫無(wú)疑義，這兩種性
質(zhì)是彼此聯(lián)系的。
就對碳化硅晶體晶面上的許多蜷線(xiàn)進(jìn)行過(guò)研究，并不提出了這樣
的假定，即蜷線(xiàn)梯階的高度應該等于梯階高度方向的點(diǎn)陣參數或是
它的倍數，同時(shí)，“有規律的晶面蜷線(xiàn)層引起碳化硅晶體獨有的多
層超結構的形成”在研究SIC的結構時(shí)指出，SIC晶體中的超周期性
與生長(cháng)周期性的重復破壞有關(guān)。
研究晶面所屬的形貌學(xué)和驗證上述假設，碳化硅是一種非常適宜
的對象，由于高硬度，耐酸性以及其他的一些性質(zhì)，在制備時(shí)，這
些晶體的表面不致有任何的變形在化學(xué)清洗時(shí)也不會(huì )有任何的變化
。
我們的注意力曾集中于研究幾乎平滑的晶面的顯微形貌，若此時(shí)
晶體的軸垂直于爐心，則晶面通常在晶體面向爐子外圈的一面生長(cháng)
；“相反”的一面，即在面向爐心的晶面上，通?？梢钥吹焦羌艿?/div>
形成，這些晶面的蜷線(xiàn)的顯微形貌是多種多樣的，無(wú)論是“圓形的
”或多角形的，一圈的或多圈的，右旋的或左旋的蜷線(xiàn)都有發(fā)現，
蜷線(xiàn)各種不同的結合情況也都曾觀(guān)察過(guò)，因為在最近發(fā)表的許多著(zhù)
作中，都可以找到有關(guān)說(shuō)明，在此我們不再重復論述。
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