本文標題："精密制造超精密零件表面的物理和幾何檢測顯微鏡"
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精密制造超精密零件表面的物理和幾何檢測顯微鏡
三維表面微觀(guān)形貌的表征與檢測
往關(guān)于表面粗糙度儀的表征參數都是在某一法向截面所截得的輪廓線(xiàn)上
進(jìn)行評定，用僅能表征該條輪廓線(xiàn)特性的二維評定參數來(lái)代表整個(gè)表面
輪廓功能的統計特性是不科學(xué)、不全面的，而且也無(wú)法真實(shí)地反映表面
的功能特性。近年來(lái)，精密制造領(lǐng)域對超精密零件表面的物理和幾何性
能也提出了非?？量痰囊?，其加工質(zhì)量和表征方法必須全面、科學(xué)，
各測量設備制造商也推出了具備三維測量功能的產(chǎn)品，以增強其市場(chǎng)的
競爭能力。于是，取得表面的真實(shí)三維信息并進(jìn)而提出反映表面功能特
性的三維評定參數就成為當今表面計量領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)和發(fā)展趨勢。原
子力顯微鏡具有很好的三維測量與表征能力，通過(guò)AFM三維測量方法研
究、三維表征參數與采樣條件研究，可以形成滿(mǎn)足國際標準的AFM三維
測量理論，制造出符合國際標準的AFM表面三維形貌測量?jì)x器。維表面
微觀(guān)形貌的檢測技術(shù)與國際標準表征
由于計算機技術(shù)、電子技術(shù)、數據處理能力的提高，出現了許多三
維表面微觀(guān)形貌測量?jì)x器，如三維觸針輪廓儀、非接觸式光學(xué)相移干涉
儀、三維光學(xué)觸針儀和白光干涉儀等，使得三維微觀(guān)形貌測量?jì)x走入商
品化和實(shí)用化
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