本文標題："微元件尺寸測量影像測量?jì)x廠(chǎng)商-光學(xué)式測量顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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什么是複合壓力微感測元件
複合壓力微感測元件，根據矽半導體微加工技術(shù)，
單一感測體包含四組惠斯頓感測電橋，每一組電橋有四個(gè)壓阻感測器分佈于量測薄膜上，薄膜厚度為20 μ m ，寬度為120 μ m ，
元件最佳應力響應值為0.417MPa/mmHg ，最大量測范圍為300mmHg ，模擬靈敏度可達77.17 μ V/V/㎜Hg ，
完成之微元件尺寸為6.5 ㎜×6 ㎜×0.7 ㎜。微感測體個(gè)別壓阻值量測誤差小于3%；當溫度介于25 ℃~55 ℃時(shí)，
電阻值對溫度之非線(xiàn)性度誤差小于2%，可應用于醫療診斷，亦可應用于產(chǎn)業(yè)與日常生活相關(guān)之力與壓力之感測與量測。
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