本文標題："電子顯微鏡SEM觀(guān)察S具有放大倍率高景深長(cháng)的優(yōu)點(diǎn)"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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掃描式電子顯微鏡（SEM）觀(guān)察SEM 具有放大倍率高、景深長(cháng)之優(yōu)點(diǎn)，
對于試片的細微結構及立體型態(tài)可做清晰觀(guān)察。本實(shí)驗將配合使用背向電子偵測器（BEI），觀(guān)察介面處是否有不同相生成。
此偵測器主要是利用輕元素其背向電子訊號較弱，重元素的背向電子訊號較強，
來(lái)分辨不同組成的相。亦將使用 SEM 上加裝之能量散佈光譜儀（EDS）來(lái)對生成的相做粗略的組成分析以利 EPMA 分析。
在 SEM 下觀(guān)察之影像可藉其附屬的照相系統拍照并傳輸至電腦中，
透過(guò)影像處理軟體 Optimas（Ver6.1）可進(jìn)行影像處理及各相反應、生成物厚度的量測。以生成物的厚度為例，是先利用軟體求得生成物面積再去除以反應介面的長(cháng)度來(lái)求得
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