本文標題："微機械的微零件輪廓測量工業(yè)顯微鏡"

微機械的微零件輪廓測量工業(yè)顯微鏡

微機電系統

(1)根據牛頓第二運動(dòng)定律，力量等于質(zhì)量和加速度的乘簀。在微機械的領(lǐng)域中，所應用零件質(zhì)量都非常小，
對一固定的力量，其加速度會(huì )變得非常大。所以，從理論上看一極小的質(zhì)量處于一微觀(guān)世界將會(huì )產(chǎn)生很多新的特性，
因而開(kāi)創(chuàng )一個(gè)新的科技領(lǐng)域。

(2)微機械的觀(guān)念是從制造微電子電路而衍生出來(lái)的。而目前制造微電子、電路的技術(shù)已可制造微零件，
但在物理意義上，這些由硅芯片制成的微零件仍是屬于二次元。而微機械的微零件必需是三維零件，
所以應發(fā)展新的科技以制造所需之三維微零件。

(3)微細裝置的機械行為將是另一具挑戰性的領(lǐng)域。微觀(guān)世界之摩擦、應力、磨耗、變形、疲勞、潤滑?#31561;
機械持性將不同于巨觀(guān)世界。
(4)微細機械的微觀(guān)環(huán)境持性，可預期的將不同于巨觀(guān)的環(huán)境。當微機械小至原子間的距離時(shí)，
外下列環(huán)境因去將會(huì )影響它的行為：

微粒子或原子環(huán)境的碰撞。

氣體或液體的黏性變換環(huán)境因素。
電、磁場(chǎng)環(huán)境。
 

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