本文標題："微機電研發(fā)微小元件檢測工具顯微鏡廠(chǎng)商"

微機電研發(fā)微小元件檢測工具顯微鏡廠(chǎng)商

微機電系統之定義

MEMS系統的研發(fā)領(lǐng)域，是極具未來(lái)性和前瞻性科技，世界各國期望經(jīng)由MEMS的研發(fā)領(lǐng)域，
是極具未來(lái)性和前瞻性科技，世界各期望經(jīng)由MEMS的研發(fā)，其創(chuàng )廿一世紀新科技，以作為推動(dòng)工業(yè)發(fā)展的動(dòng)力，
并作為改善人民生活、促進(jìn)經(jīng)濟繁榮的重要手段。而我國歷經(jīng)四十年來(lái)的快速成長(cháng)后，

拓工業(yè)新的成長(cháng)空間，我國必須提升技術(shù)層次，發(fā)展高科技及附加價(jià)值高的新興產(chǎn)業(yè)，
開(kāi)發(fā)具發(fā)展力的產(chǎn)品與主要技術(shù)，期望能帶動(dòng)其他產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，
而MEMS系統的研發(fā)正好提供了一個(gè)具有發(fā)展力及前瞻性的方向。

由于微機電系統是一個(gè)新的領(lǐng)域，微機電系統（MEMS）的定義大致可分為兩大類(lèi)，
第一類(lèi)認為微機電系統本身的大小在微米（μm）的范圍（即0.5~500μm）
，第二類(lèi)認為微機電系統是能達到微米以?xún)鹊倪\動(dòng)精度的機械，而機械本身的大小沒(méi)有限制

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