本文標題："痕微量構劃封裝和微元件焊接檢測顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 技術(shù)文章 ------
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痕微量構劃封裝和微元件焊接檢測顯微鏡
傳感器
具有高發(fā)展潛力的微系統技術(shù)與常規技術(shù)相比較，明顯的差異
在于傳感器技術(shù)方面。傳感器將是測量系統鏈中最薄弱的環(huán)節，因
此系統對傳感器的可靠性有了越來(lái)越高的要求，同時(shí)對傳感器的準
確性、敏感性、選擇性、壽命和與長(cháng)時(shí)間工作漂移有關(guān)的穩定性也
有高的要求。特別是有關(guān)化學(xué)傳感器和生物傳感器方面的問(wèn)題，這
些傳感器必須不受妨礙地暴露在未知的介質(zhì)中，同時(shí)還要避免虛假
信號的影響。在汽車(chē)領(lǐng)域有一個(gè)問(wèn)題，即汽油中的鉛含量導致尾氣
檢測系統的久探針中毒問(wèn)題。在醫學(xué)領(lǐng)域，植人人體的傳感器維持
長(cháng)時(shí)間的工作也是很困難的，生物相容性不僅意味著(zhù)生物體不受外
來(lái)物的影響，而且意味著(zhù)植人物也不受生物系統的排斥。如果生物
系統要排斥和溶解任何外來(lái)物，至少要形成保護膜組織來(lái)密封外來(lái)
物。
陽(yáng)極粘接法
晶片·玻璃粘接
陽(yáng)極粘接是在最近幾年發(fā)展起來(lái)的一種封裝和微元件防護以至整
個(gè)系統防護的有力工具。陽(yáng)極粘接使一個(gè)微結構上的防護玻璃罩的
不可逆封裝變得更容易。
按照定義，微結構是由靈活的元件(如彎曲梁、振蕩鏡、線(xiàn)性
寸的件后尺高部然米和 ，痕微量構劃的數結上成件該劃構元用被
)的使片塞大地晶活巨立 ，、以獨中輪構了業(yè)齒結為造、種 。
制達這上體馬 ，)導(樣片半構 一 晶在結件( 。的元底來(lái)由
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